Източник на светлина: 265 LUX (130nm)
Минимална разделителна способност: 1D ≥ 5 mil
Скорост на сканиране: 150/с
Ъгъл на сканиране:
Наклон (Pitch): 65°
Завъртане (Skew): 60°
Дълбочина на полето: 10 мм – 650 мм
Размери: 170 x 70 x 90 мм
Тегло: ≈ 188 г
Работна температура: -10°C до 50°C


